پوشش خلاء-روش پوشش کریستالی موجود
توضیحات محصول
روش پوشش کریستال موجود عبارت است از: تقسیم یک کریستال بزرگ به کریستال های متوسط با مساحت مساحت، سپس روی هم چیدن تعداد زیادی کریستال متوسط، و پیوند دو کریستال متوسط مجاور با چسب. دوباره به گروه های متعددی از کریستال های کوچک با مساحت مساوی تقسیم کنید. یک پشته از کریستال های کوچک بردارید و طرف های محیطی کریستال های کوچک متعدد را صیقل دهید تا کریستال های کوچک با مقطع دایره ای به دست آورید. جدایی؛ یکی از کریستال های کوچک را بگیرید و روی دیواره های جانبی محیطی کریستال های کوچک چسب محافظ بزنید. پوشش جلویی و/یا طرف مقابل کریستال های کوچک. برای به دست آوردن محصول نهایی، چسب محافظ در دو طرف کریستال های کوچک را بردارید.
روش پردازش پوشش کریستالی موجود نیاز به محافظت از دیواره جانبی محیطی ویفر دارد. برای ویفرهای کوچک به راحتی می توان سطوح بالایی و پایینی را هنگام چسب زدن آلوده کرد و کار آسانی نیست. هنگامی که جلو و پشت کریستال پوشش داده می شود پس از پایان، چسب محافظ باید شسته شود و مراحل عملیات دست و پا گیر هستند.
روش ها
روش پوشش کریستال شامل موارد زیر است:
●در امتداد کانتور برش از پیش تعیین شده، با استفاده از لیزر برای برخورد از سطح بالایی بستر برای انجام برش اصلاح شده در داخل بستر برای به دست آوردن اولین محصول میانی.
●پوشش سطح بالایی و/یا سطح پایینی اولین محصول میانی برای به دست آوردن محصول میانی دوم.
●در امتداد کانتور برش از پیش تعیین شده، سطح بالایی دومین محصول میانی با لیزر نوشته شده و برش داده می شود و ویفر شکافته می شود تا محصول مورد نظر از مواد باقی مانده جدا شود.